精瓷新资料请求根据流延成型的碳化硅静电卡盘及其制备办法专利有用进步碳化硅陶瓷片各层结合度防止分层

  国家知识产权局信息数据显现，广东精瓷新资料有限公司请求一项名为“一种根据流延成型的碳化硅静电卡盘及其制备办法”的专利，揭露号CN121318460A，请求日期为2025年9月。

  专利摘要显现，本发明揭露一种根据流延成型的碳化硅静电卡盘及其制备办法，碳化硅静电卡盘包含有基座、邦定资料层以及陶瓷片；该陶瓷片选用碳化SiC原粉、体积电阻调控剂、烧结助剂和球磨增加剂经过流延、压合和烧结构成，并包含有经过丝网印刷制备的发热电极层以及吸附电极层。本发明经过增加体积电阻调控剂的办法调理碳化硅体积电阻率，以满意静电卡盘电介层质的要求，一起合作经过选用流延、压合和烧结工艺，在高温下一起施加压力效果，使得碳化硅陶瓷片各层可以烧结细密且层与层之间具有更高的结合度，有很大成效防止呈现分层，之后经过退火处理，有利于扫除碳化硅陶瓷中剩余杂质，促进陶瓷晶界搬迁、晶粒成长均匀化以及气孔消除以进步细密度，开释剩余应力。

  天眼查资料显现，广东精瓷新资料有限公司，成立于2021年，坐落河源市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4513.3014万人民币。经过天眼查大数据分析，广东精瓷新资料有限公司共对外出资了2家企业，参加招投标项目7次，产业线条，此外企业还具有行政许可9个。

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